輸出電壓

±10~2000

±10~4000

±10~6000

±10~8000

±10~12000

±10~20000

V

最小輸出電壓步長

1V (500V以內(nèi))

10V (2kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (4kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (6kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (8kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (12 kV以內(nèi))

1V (500V以內(nèi))

10V (20 kV以內(nèi))

V,

kV

輸出電壓精度

優(yōu)于±1%±5V

%

尺寸

347X300X145

mm

重量

5

6

6

6

6

7

kg

電壓、電流測量

電壓、電流測量無源探頭

支持的示波器

Keysight， Tektronix，Lecory主流型號示波器

支持的SMU

Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx系列

輸出電壓

±10~2000

±10~4000

±10~6000

±10~8000

±10~12000

±10~20000

V

放電RC值

C: 100pF±10%，R: 1.5k?±1%

短路峰值電流Ips

0.67A±10%每kV

ns

短負荷上升時間Trs

2<Trs<10

ns

短負荷衰減時間Tds

130<Tds<170

ns

短負荷振鈴Irs

<15%of Ips

500Ω負載峰值電流Ipr

Ipr/Ips≥63%

500Ω負載上升時間Trr

5<Trr<25

ns

HMM第一峰值電流

90

90

135

A

3.75A每1kV≤±10%

IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)

HMM電流@30ns

48

48

72

A

≤±10% (優(yōu)于IEC標準的±30% )

HMM電流@60ns

24

24

36

A

≤±10% (優(yōu)于IEC標準的±30% )

輸出電壓

±10~2000

±10~4000

V

放電RC值

C: 200pF，R: 0?

短路負載峰值電流Ip1

1.75±10%每100V

A

如果使用插座公差會不同

短路負載Ip2

Ip1的67%~90%

A

短路負載波形周期tpm

66<tpm<90

ns

500?負載峰值電流Ipr

0.85–1.2

A

@400V符合標準的條件

500?負載I100

0.23–0.4

A

@400V符合標準的條件

500?負載I200

測量的I100的30-50%

A

ESD測試儀

1.1

ES612A-2K

ES612 ESD測試儀，最高2kV，支持RS232 SCPI

ES612A-4K

ES612 ESD測試儀，最高4kV，支持RS232 SCPI

ES612A-6K

ES612 ESD測試儀，最高6kV，支持RS232 SCPI

ES612A-8K

ES612 ESD測試儀，最高8kV，支持RS232 SCPI

ES612A-12K

ES612 ESD測試儀，最高12kV，支持RS232 SCPI

ES612A-20K

ES612 ESD測試儀，最高20kV，支持RS232 SCPI

1.2

ES612A-HBM-2

人體模型2管腳模型，2kV

ES612A-HBM-4

人體模型2管腳模型，4kV

ES612A-HBM-6

人體模型2管腳模型，6kV

ES612A-HBM-8

人體模型2管腳模型，8kV

ES612A-HBM-12

人體模型2管腳模型，12kV

ES612A-HBM-20

人體模型2管腳模型，20kV

1.3

ES612A-HMM-8

人體金屬模型2管腳模型，等同8kV HMM

ES612A-HMM-24

人體金屬模型2管腳模型，等同24kV HMM

ES612A-HMM-36

人體金屬模型2管腳模型，等同36kV HMM

1.4

ES612A-MM-2

機器模型2管腳測試儀模型，2kV

ES612A-MM-4

機器模型2管腳測試儀模型，4kV

附件

2.1

CT-002-T

電流探頭1kHz至2GHz (優(yōu)于Tektronix CT1&CT2)

2.2

ES62X-CMPS

簡易手動探針臺

2.3

XYZM

XYZ探針座，XYZ可移動500mils，0.01mm每個步進

2.4

XYZM-HBM

HBM探針臂

2.5

XYZM-HMM

HMM探針臂(47.5R)

2.6

HBM-TC0.3

0.3mm用于IC探針封裝的變槳測試夾

2.7

HBM-TC2.5

2.54mm用于PCB探針的變槳測試夾(默認配置包含1組)

2.8

XYZM-PP048

0.48mm用于封裝級測試的彈簧針 (一包20個)

2.9

XYZM-TN1

鎢鋼針–5mils尖頭，用于晶圓級測試 (一包10個)

第三方設(shè)備

3.1

KSMU2400

SMU，200V，1A，20W，單通道(用于設(shè)備直流自動失效檢測))

3.2

OSC-1G

1 GHz BW，5Gs/S，4通道示波器

ES612A ESD測試儀(HBM、HMM、MM) 自動化解決方案

4.1

HBM-RE64X2

64X2用于HBM自動測試的管腳轉(zhuǎn)接擴展模塊

4.2

HBM-RE128X2

128X2用于HBM自動測試的管腳轉(zhuǎn)接擴展模塊

4.4

ES62X-PC-SW1

預(yù)裝自動測試軟件的臺式電腦，用于2管腳、脈沖和SMU

4.5

ES62X-PC-SW2

預(yù)裝自動測試軟件的臺式電腦，用于2管腳、脈沖、示波器和SMU

4.6

ES62X-PC-SW3

預(yù)裝自動測試軟件的臺式電腦，用于RE 多管腳、脈沖、示波器和 SMU

4.7

ES650-150

全自動2管腳低寄生機械自動化方案  (不限制管腳，不需要PCB，PC&包含全自動軟件)