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產(chǎn)品展示/ Product display
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-03-13訪 問 量：2273
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ES660 系列 靜電放電和閂鎖 (LU) 測試系統(tǒng)是一款先進(jìn)的多針自動測試設(shè)備，旨在滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體測試的嚴(yán)格要求。這款多功能設(shè)備旨在無縫支持人體模型 (HBM)、機(jī)器模型 (MM) 和閂鎖測試，為評估集成電路 (IC) 和電子元件的可靠性和穩(wěn)健性提供全面的解決方案。ES660為ES612A系列的升級版，有更高的配置選擇。
ES660-P1 配置支持多達(dá)1280個引腳， 非常適合測試具有大量連接的復(fù)雜 IC 和電子元件。其高引腳數(shù)容量可確保準(zhǔn)確高效地評估大型設(shè)備，從而縮短測試時間并提高生產(chǎn)率。
若需求更高的引腳數(shù)，ES660-P1配置可以升級為ES660-P2 (最多2560引腳)。
兼容多種測試方法和標(biāo)準(zhǔn)
高度靈活的偏置和引腳數(shù)配置能力
自動化測試效率
擁有先進(jìn)的控制和監(jiān)控
泄漏和直流掃描
數(shù)據(jù)分析
多放電頭，軟件自動切換
半導(dǎo)體器件 ESD 測試
HBM 模塊符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 、 MIL-STD-883E、AEC Q100-002
MM模塊符合ANSI/ESDA SP5.2
閂鎖測試符合JEDEC JESD78
瞬態(tài)閂鎖符合 ANSI/ESD SP5.4.1
| 參數(shù) | ES660 | 單位 | 備注 |
| 觸摸屏 | 5 | inch | |
| 尺寸 | 480 X 497.5 X 265 | mm | |
| 重量 | 28 | kg | 完整安裝 |
| ESD 和 LU 波形 | 可選無源電壓和電流探頭 | ||
| 支持的示波器 | Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號 | 可定制 | |
| 支持的 SMU | Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號 | 可定制 | |
| 支持的電源 | Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型號 | 可定制 |
HBM 人體模型選項
（ANSI/ESDA/JEDEC JS-001）
| 參數(shù) | ES660-P1-HBM8 | ES660-P1-HBM10 | 單位 | 備注 |
| 輸出電壓 | ±10～8000 | ±10～10000 | V | |
| 放電RC值 | C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k? ± 1% | |||
| 短路負(fù)載峰值電流Ips | 0.67 ± 10 % 每 kV | A | ||
| 短路負(fù)載上升時間trs | 2 < trs < 10 | ns | ||
| 短路負(fù)載衰減時間tds | 130 < tds < 170 | ns | ||
| 短路振鈴trs | < Ips 的15% | |||
| 500Ω負(fù)載峰值電流Ipr | Ipr/Ips ≥ 63% | |||
| 500Ω負(fù)載上升時間trr | 5 < trr < 25 | ns | ||
| 最快脈沖速度 | 10 | 個/秒 | ||
| 同時脈沖數(shù)目 | >=8 | 512引腳以上 | ||
| 參數(shù) | ES660-P1-MM2 | ES660-P1-MM4 | 單位 | 備注 |
| 輸出電壓 | ±10 ~ 2000 | ±10 ~ 4000 | V | |
| 放電RC值 | C: 200 pF, R: 0 ? | |||
| 短路負(fù)載峰值電流Ip1 | 1.75±10% 每 100V | |||
| 短路負(fù)載Ip2 | Ip1的67% ~ 90% | |||
| 短路負(fù)載脈沖周期tpm | 66 < tpm < 90 | |||
| 500Ω負(fù)載峰值電流Ipr | 0.85 – 1.2 | @400 V條件符合標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 500Ω負(fù)載I100 | 0.23 – 0.4 | @400 V條件符合標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 最快脈沖速度 | 10 | 個/秒 | ||
| 同時脈沖數(shù)目 | >=8 | 512引腳以上 | ||
| 參數(shù) | ES660-P1-LU | 備注 |
| 預(yù)處理向量 | 可≥ 20 MHz，256K 深度 | 外部設(shè)置 |
| V/I 4線開爾文測量 | 是 | |
| DUT V/I 總線電源 | 3+1、5+1、7+1 | 支持DC源外部擴(kuò)展 |
| LU 波形捕獲 | 是 | |
| 矩陣最大DC電壓 | 200V | |
| SSR 矩陣最大DC電壓 (V) | 100V | |
| 引腳最大DC電流 | 2A | |
| DC通道最大電流 | 15A | |
| 默認(rèn)閂鎖源最大電壓 | >= 150V | 最大限流1.2 A |
| 默認(rèn)閂鎖源最大電流 | >= 10A | 最高電壓6 V |
TLU 瞬態(tài)閂鎖選項
（ANSI/ESD SP5.4.1）
計劃閂鎖瞬態(tài)脈沖源的硬件支持：
ES622 (TLP/ VF–TLP ), EOS -500 (EOS), LVS-500 (LVS), MM
| 編號 | 型號 | 描述 |
| 基本單元選項 | ||
| 1.1 | ES660-P1-BU | 基于繼電器的 HBM/MM/LU ATE 系統(tǒng)基礎(chǔ)單元 |
| 1.2 | ES660-P1-HBM8 | HBM模型測試選項，電壓至8 kV |
| 1.3 | ES660-P1-HBM10 | HBM模型測試選項，電壓至10 kV (停產(chǎn)) |
| 1.4 | ES660-P1-MM2 | MM模型測試選項，電壓至 2 kV |
| 1.5 | ES660-P1-MM4 | MM模型測試選項，電壓至4 kV (停產(chǎn)) |
| 1.6 | ES660-P1-LU | 閂鎖測試選項（軟件） |
| 1.7 | ES660-P1-TLU | 瞬態(tài)閂鎖測試選項（軟件 – TLP, EOS） |
| 1.8 | ES660-TFM | 溫度控制模塊 |
| 繼電器卡及DC偏置選型 | ||
| 2.1 | ES660-P1-R64B4 | 擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，3+1 偏置 |
| 2.2 | ES660-P1-R64B6 | 擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，5+1偏置 |
| 2.3 | ES660-P1-R64B8 | 擴(kuò)展繼電器卡，64引腳，7+1偏置 |
| 直流、漏電和 閂鎖 脈沖源選項 | ||
| 3.1 | ES660-PSMU2 | 漏電\DC\LU 源：雙通道脈沖 SMU (210V/1.5A) |
| 3.2 | ES660-SMU1 | 漏電\直流源：單通道 SMU (200V/1A) |
| 3.3 | ES660-PSU1 | 直流電源： 靈活通道 PSU（ 32V/3A X 2 Ch + 6V/5A X 1 Ch 或 70V/3A X 1 Ch，或 32V/6A X 1 Ch + 6V/5A X 1 Ch） |
| 3.4 | ES660-PSU2 | 直流電源：3 通道 PSU（60V/3A X 2 Ch+5V/3A X 1 Ch，或125V/3A X 1 Ch） |
| 3.5 | ES660-PSU3 | 直流電源：高電流 PSU (20V/20A X 1 Ch ) |
| 3.6 | ES660-PSU4 | 直流電源：高電流PSU (30V/25A X 1 Ch) |
| 3.7 | ES660-PSU5 | 直流電源： 3通道 PSU (30V/6A X 2 Ch，5V/3A X 1 Ch，或 60V/6A X 1 Ch) |
| 3.8 | ES660-PSU7 | 直流電源： 雙量程 PSU (100V/1A, 或 30V/5A) |
| 3.9 | ES660-PSU-MC1 | 多通道PSU: 主框架, 帶示波器 |
| 3.10 | ES660-PSUC1 | 多通道PSU: 50V, 5A, 50W模塊 |
| 3.11 | ES660-PSUC2 | 多通道PSU: 50V, 10A, 100W模塊 |
| 3.12 | ES660-PSUC3 | 多通道PSU: 60V, 5A, 300W模塊 |
| 3.13 | ES660-PSUC4 | 多通道PSU: 100V, 1A, 100W模塊 |
| 3.14 | ES660-PSUC5 | 多通道PSU: 100V, 3A, 300W模塊 |
| 3.15 | ES660-PSUC6 | 多通道PSU: 150V, 2A, 300W模塊 |
| 測試插座選項 | ||
| 4.1 | ES660-P1-DS512 | DUT 插座 PCB 512 針 |
| 4.2 | ES660-P1-DS1024 | DUT 插座 PCB 1024 針 |
| 4.3 | ES660-P1-DSC1 | DUT 插座 PCB 定制引腳數(shù) |
| 示波器選項 | ||
| 5.1 | MISC-OSC350 | 數(shù)字示波器（ 350 MHz， 4 通道） |
| 5.2 | MISC-OSC1 | Digital Oscilloscope (1 GHz, 5 GS/s, 4 Ch) |
| 5.3 | CT-T03-1p0 | 寬帶電流探頭，1V/A，2kHz – 2GHz |
注: 母板，矩陣卡，波形板和自校驗診斷板屬于設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)配置，因此不體現(xiàn)在訂購信息中。
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